復(fù)層式恒溫恒濕試驗箱 半導(dǎo)體材料檢測儀器

產(chǎn)品詳情

本產(chǎn)品是一款專為半導(dǎo)體材料行業(yè)設(shè)計的高精度復(fù)層式恒溫恒濕試驗箱。它采用獨特的垂直堆疊式結(jié)構(gòu)，將兩個或多個獨立控制的測試腔體集成于一臺主機(jī)中，實現(xiàn)了對多種半導(dǎo)體樣品在同一環(huán)境基座下的并行或異步測試，極大地提升了檢測效率與數(shù)據(jù)比對性，是晶圓、光刻膠、封裝材料等可靠性評估的理想設(shè)備。

主要用途

該儀器主要用于評估半導(dǎo)體材料及元器件在不同溫濕度條件下的性能穩(wěn)定性與可靠性。關(guān)鍵測試包括：半導(dǎo)體封裝樹脂的吸濕率與熱機(jī)械性能變化、晶圓存儲環(huán)境的適應(yīng)性、光刻膠的黏度穩(wěn)定性，以及通過高加速應(yīng)力測試（HAST）來快速評估產(chǎn)品的耐候壽命與失效模式。

復(fù)層式恒溫恒濕試驗箱 半導(dǎo)體材料檢測儀器

技術(shù)參數(shù)

• 溫度范圍：-40℃ ~ +150℃

• 濕度范圍：20% ~ 98% R.H.

• 溫度波動度：≤ ±0.3℃

• 濕度波動度：≤ ±2.0% R.H.

• 溫度均勻度：≤ ±1.0℃

• 濕度均勻度：≤ ±3.0% R.H.

• 升降溫速率：1.0 ~ 3.0℃/min (可按需定制)

• 復(fù)層結(jié)構(gòu)：標(biāo)準(zhǔn)雙層，可定制三層

箱體結(jié)構(gòu)與材質(zhì)

• 外箱：采用優(yōu)質(zhì)SECC鋼板，并經(jīng)精密防靜電噴塑處理，有效防止外部電磁干擾及物理腐蝕。

• 內(nèi)箱：采用SUS304#不銹鋼鏡面板，焊縫光滑平整，確保無污染、易清潔、耐腐蝕，滿足半導(dǎo)體行業(yè)潔凈要求。

• 保溫層：采用高密度、難燃型的硬質(zhì)聚氨酯發(fā)泡材料，具備極低的導(dǎo)熱系數(shù)，確保箱外壁不凝露，能耗更低。

• 復(fù)層設(shè)計：每個測試層均配備獨立的密封門和觀察窗，層與層之間采用剛性加強(qiáng)結(jié)構(gòu)，確保各層工況互不干擾。

溫度控制系統(tǒng)

• 控制核心：采用進(jìn)口高精度PID+SSR控制模塊，配合AI人工智能調(diào)節(jié)算法，能快速響應(yīng)箱內(nèi)溫度變化，實現(xiàn)精準(zhǔn)控制。

• 加熱方式：采用優(yōu)質(zhì)鎳鉻合金電加熱器，無塵設(shè)計，配合耐高溫風(fēng)機(jī)，實現(xiàn)強(qiáng)制空氣循環(huán)，保證溫場均勻穩(wěn)定。

• 傳感器：采用鉑金電阻PT100，提供高精度、高穩(wěn)定性的溫度反饋。

制冷系統(tǒng)

• 系統(tǒng)形式：采用復(fù)疊式制冷系統(tǒng)，由高溫級和低溫級循環(huán)組成，確保設(shè)備能高效、可靠地達(dá)到-40℃的低溫。

• 核心部件：壓縮機(jī)、冷凝器、蒸發(fā)器等關(guān)鍵部件均采用國際品牌，確保長期連續(xù)運行的穩(wěn)定性。

• 節(jié)能設(shè)計：系統(tǒng)配備能量調(diào)節(jié)閥與旁路設(shè)計，可根據(jù)熱負(fù)載自動調(diào)節(jié)制冷量，有效降低能耗。

加濕與除濕系統(tǒng)

• 加濕方式：采用淺槽式蒸汽加濕，通過加熱內(nèi)置的純凈水產(chǎn)生潔凈蒸汽，加濕速度快，控制精度高，對箱內(nèi)環(huán)境無污染。

• 供水系統(tǒng)：配備自動補(bǔ)水功能與水位控制裝置，并可外接高純度去離子水系統(tǒng)，滿足半導(dǎo)體測試對水源的苛刻要求。

• 除濕方式：采用制冷表面冷凝除濕技術(shù)，當(dāng)需要低濕環(huán)境時，系統(tǒng)通過調(diào)節(jié)蒸發(fā)器溫度，使箱內(nèi)水蒸氣在蒸發(fā)器表面凝結(jié)成水排出，實現(xiàn)快速降濕。

工作原理

設(shè)備基于物質(zhì)在特定溫濕度環(huán)境下的物理與化學(xué)變化規(guī)律。系統(tǒng)通過傳感器實時監(jiān)測各測試層的溫濕度，并將數(shù)據(jù)傳送至控制器。控制器將實測值與設(shè)定值進(jìn)行比較，通過PID運算，精確控制加熱器、壓縮機(jī)、加濕器等執(zhí)行元件的動作，形成一個閉環(huán)反饋系統(tǒng)，從而在箱內(nèi)創(chuàng)造出高度穩(wěn)定、均勻的所需恒溫恒濕環(huán)境。

滿足標(biāo)準(zhǔn)

本設(shè)備的設(shè)計與制造嚴(yán)格遵循以下國際、國內(nèi)及行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)：

• GB/T 2423.3 (電工電子產(chǎn)品環(huán)境試驗 第2部分：試驗方法 試驗Cab：恒定濕熱試驗)

• GB/T 2423.4 (電工電子產(chǎn)品環(huán)境試驗 第2部分：試驗方法 試驗Db：交變濕熱試驗)

• IEC 60068-2-78 (基本環(huán)境試驗規(guī)程 第2-78部分：試驗Cab：濕熱，穩(wěn)態(tài))

• JESD22-A101 (穩(wěn)態(tài)溫度濕度偏壓壽命試驗)

• JEDEC JESD22-A110 (高加速應(yīng)力試驗HAST) 等相關(guān)半導(dǎo)體行業(yè)測試規(guī)范。